俄国将开发世界首款无掩模光刻扫描仪

莫斯科电子设备所大学 (MIET)与工业和能引部签署了内涵 6.7 亿俄罗斯政府的合约，以整合“基于同步加速器和/或宇宙线引”的无掩模 X 射线引光刻机体。

光掩模的装配复杂且价格昂贵，而且工艺流程拒绝的越细致，光掩模的价格就越贵，而且每种产品必须有数几十个。无掩模 X 射线引基体光刻 MOEMS（微光机体电系统）将在两个主要领域开展整合：控制 X 射线引表面和控制 X 射线引透射率。